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机械式高精度旋转平台
利用无齿槽电机和高精度光学编码器,实现最高精度可达±3arcsec的重复定位精度,同时转速可以达到1500rpm,负载最高可达20kg,是半导体,光学测量等行业的首选旋转运动平台。
| 参数 | 100 | 150 | 200 |
| Bus Voltage | 340 VDC | 340 VDC | 340 VDC |
| Maximum Torque (Continuous) | 0.48 N·m | 2.36 N·m | 5.99 N·m |
| Max Speed | 1500 rpm | 600 rpm | 600 rpm |
| Accuracy – Uncalibrated | 388 μrad (80 arc sec) | 388 μrad (80 arc sec) | 388 μrad (80 arc sec) |
| Accuracy – Calibrated | 29.1 μrad (6 arc sec) | 29.1 μrad (6 arc sec) | 29.1 μrad (6 arc sec) |
| Repeatability | 14.6 μrad (3 arc sec) | 14.6 μrad (3 arc sec) | 14.6 μrad (3 arc sec) |
| Max Load – Axial | 7 kg | 20 kg | 40 kg |
| Max Load – Radial | 3 kg | 10 kg | 20 kg |
| Axial Error Motion | 2 μm | 5 μm | 5 μm |
| Radial Error Motion | 3 μm | 5 μm | 5 μm |
| Tilt Error Motion | 48.5 μrad (10 arc sec) | 48.5 μrad (10 arc sec) | 48.5 μrad (10 arc sec) |
| Inertia – Unloaded | 0.00038 kg·m² | 0.00264 kg·m² | 0.01069 kg·m² |
| Total Mass | 2.0 kg | 4.5 kg | 8.4 kg |
| Finish – Tabletop | Hardcoat | Hardcoat | Hardcoat |
| Finish – Stage | Black Anodize | Black Anodize | Black Anodize |
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