气浮式高精度旋转平台

利用无齿槽无框电机、高精度光学编码器、气浮轴承制作的转台，能实现±1arcsec以内的定位需求，支持360°旋转，最大转速达1500rpm，最大负载可达72kg，是半导体和光学测量行业的首选精密运动平台。

	100	150	250
Travel	360° continuous
Accuracy, Standard (-E1, -E3)(1)	± 1 arc sec
Accuracy, High-Performance (-E2)(1)	± 0.5 arc sec
Bidirectional Repeatability(1)	± 0.2 arc sec
Resolution (Minimum Incremental Motion)(2)	0.05 arc sec	0.03 arc sec	0.02 arc sec
Total Tilt Error Motion(3)	0.2 arc sec		0.1 arc sec
Total Axial Error Motion(3)	25 nm		30 nm
Total Radial Error Motion(3)	25 nm		30 nm
Maximum Speed(4)	1500 rpm	1200 rpm	800 rpm
Maximum Torque-Peak	1.16 N·m	2.84 N·m	9.35 N·m
Maximum Torque-Continuous	0.19 N·m	0.44 N·m	2.34 N·m
Working Load, Axial(5)	17 kg	40 kg	110 kg
Working Load, Radial(5)	7 kg	14 kg	72 kg
Working Load, Tilt(5)	3.8 N·m	10 N·m	110 N·m
Operating Pressure(6,7)	80 psig
Air Consumption	18 SLPM	25 SLPM	30 SLPM
Rotor Inertia	0.0005 kg·m2	0.0022 kg·m2	0.0308 kg·m2
Stage Mass	3.2 kg	7.2 kg	25.4 kg
Material	Anodized aluminum

超迈动力（北京）科技有限公司成立于2020年，总部位于北京，拥有众多行业经验十年以上的销售工程师、应用工程师、技术工程师，打造了一支服务于运动控制行业的高质量团队。