PRODUCT LIST
产品列表
5款平台模组产品，涵盖气浮式/机械式直线模组与旋转平台
气浮式旋转
#01
气浮式高精度旋转平台
利用无齿槽无框电机、高精度光学编码器、气浮轴承制作的转台，能实现±1arcsec以内的定位需求，支持360°旋转，最大转速达1500rpm，最大负载可达72kg，是半导体和光学测量行业的首选精密运动平台。
定位精度:±1arcsec
最大转速:1500rpm
最大负载:72kg
技术:气浮轴承+无框电机
机械式旋转
#02
机械式高精度旋转平台
利用无齿槽电机和高精度光学编码器，实现最高精度可达±3arcsec的重复定位精度，同时转速可以达到1500rpm，负载最高可达20kg，是半导体、光学测量等行业的首选旋转运动平台。
重复定位精度:±3arcsec
最大转速:1500rpm
最大负载:20kg
技术:无齿槽电机+光编
气浮式直线
#03
气浮式直线电机模组
由直线电机、气浮轴承、光栅尺和机械结构组成，定位精度可达0.2微米，可提供客制化定制服务。适用于超精密测量与半导体制造场景。
定位精度:0.2μm
组成:直线电机+气浮轴承+光栅尺
定制:支持客制化
应用:超精密测量/半导体
机械式直线
#04
机械式直线电机模组
双导轨直线电机平台，由双导轨、直线电机、编码器反馈和铝制外壳组成紧凑、高性能模组。行程100~12000mm，重复定位精度±1μm，速度可到5m/s，加速度可达5G。
行程:100~12000mm
重复定位精度:±1μm
最大速度:5m/s
最大加速度:5G
音圈模组
#05
音圈电机模组
可提供成品音圈电机模组，组成包括音圈电机、光栅尺、机械运动平台、以及配套驱动器。节省自行制作运动模组时间，出厂提供精度测试报告。
组成:音圈电机+光栅尺+平台+驱动器
出厂报告:精度测试报告
特点:即插即用
应用:高频往复/精密定位